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直流供电方式LED照明调光系统（首次世界）
用途：
具有调光功能的直流供电照明系统，1000秒单位（0.1%单位）的调光。这是一种将太阳能、风力、水力发电等自然能源和电力公司提供的电混合，直接用直流（DC）供电的划时代的系统。
特点：
直流供电方式
丢失了在电力公司进行交流供电时发生的AC / DC转换，直接用直流（DC）供电来大幅减轻转换损失。
自然能源的利用
为了将直流电发电的自然能源用直流电来供电，可以最大限度地利用自然能量。
与蓄电池的组合
停电时用无瞬间程序的照度可以点亮。
在紧急情况下，在避难路径上的照明使用供电指定程序的话，可以补充紧急引导灯。
作为非常用电源也可以活用。
个别调光功能
根据内置的程序，可以自动和手动控制LED照明的调光控制。
到必要的地方需要的亮度可以调光。
光的闪烁
不发生在降低照度时产生的光的闪烁。
规格：
输入 | AC | 1φ90V～220V 或者3φ180～220V(別途400V系可能) |
DC | DC120V～350V(太阳光发电器・风力发电器) | |
给电方式 | 直流给电 | |
控制部 | 触摸面板、序列、微机的数字控制方式 | |
频道数 | 10ch单位 | |
调光率 | 0%～100%(0.1%单位任意设定) | |
调光设定 | 网络或触摸面板 | |
程序设计 | 使用时间和日历功能可以设置系统 | |
输入 | AC | 1φ100V 10A ,50/60Hz输出插座 |
蓄電池 | 种类 | 锂聚合物蓄电池、铅蓄电池 |
定格容量 | 200Ah / 5时间率（5.18kWh） | |
韦哈移动机SPP200/SPP150
特点：
超薄风度对应（TEKO过程）单曲拾取的wa移动装置。省空间的台面类型。
产品介绍：
省空间的台面类型
非真空方式
TEKO过程的wa移动也对应。
在移动前进行映射，读取正确的韦哈位置。
关于更换的载体也检查有没有剩下的whh
200mm（SPP200）或150mm（SPP 150）对应
PWP（韦哈搬运发尘）< 10@ 0.2%
对职业和韦哈实现ESMAP的保护
选项（MEMS服务用长尺缘接触菲格）
规格：
电源 | AC 100/240 V、50 / 60Hz |
电流容量 | 2 A |
外形尺寸 | SPP150： 856（L）×677（W）×645（H） mm SPP200： 856（L）×677（W）×645（H） mm |
韦哈移动机BPP200 / BPP150
通过传感器进行映射，读取正确的韦哈位置。省空间的台面类型。
非真空方式
关于更换的载体也检查有没有剩下的whh
200mm（BP200）或150mm（BPP150）对应
PWP（韦哈搬运发尘）< 10@ 0.2%
韦哈实现ESMAP的保护
选项：MEMS举重用长尺缘接触菲格
规格：
电源 | AC 100/240 V、50 / 60Hz |
电流容量 | 2 A |
外形尺寸 | BPP150： 770（L）×365（W）×565（H） mm BPP200： 770（L）×365（W）×565（H） mm |
韦哈移动机AWT200 / AWT150 / MWT200 / MWT150
自动滑翔（也有手动类型）。在SEMIA标准的载体之间水平的离奇移载。省空间的台面类型。
产品介绍：
在SEMIA标准的载体之间水平的离奇移载。
省空间的台面类型
通过传感器停止移动。
移载时检测过电流时，为了避免对韦哈的损伤，移载臂停止。
200mm（ApT200、MWT200）或150mm（ApT150、MWT 150）对应
自动（ApT200，包编150）或手动（MWT200，MWT 150）。
规格：
电源 | AC 100/240 V、50 / 60Hz |
电流容量 | 1.2 A |
外形尺寸 | AWT200： 642（L）×230（W）×290（H） mm MWT200： 642（L）×230（W）×290（H） mm |
韦哈整列机ANA 200 / MN200 / AFA200 / MFA200
自动调整马哈（也有手动类型）。把整列机韦哈（ANA、Ma）或平整（AFA、MFA）排成一列。省空间的台面类型。200mm对应。
诺奇韦哈（ANA、Ma）或平整（AFA、MFA）排列。
省空间的台面类型
实现E2%保护。在所有的韦哈和职业的接触点上使用特殊材料，并排成清洁和保护
自动类型（ANA、AFA）开始设置
排列角度可以通过钥匙垫选择
SECU / GS可以对应
手册类型（Ma，MFA）不介意安全性和粒子污染，很容易使用高成本效果和简单使用方便
规格：
电源 | AC 100/240 V、50 / 60Hz |
电流容量 | 1.2 A |
外形尺寸 | ANA200： 330（L）×185（W）×165（H） mm MNA200： 230（L）×188（W）×165（H） mm |
