SANYU电子株式会社
RF溅射装置SVC-700RFI薄膜制作设备
特点：
小型紧凑尺寸
简便操作
不必说金属薄膜，最适合绝缘膜和抗氧化膜制作
小型的装备和选择性
溅射阴极 | 水冷式磁控管 φ2英寸×1源 |
溅射方向 | 下降 |
RF电源 | 200W 13.56MHz |
チャンバー部 | φ160mm×H311mm(給電部含) SUS制 |
真空泵 | DP：200l/sec RP：20l/min |
到达压力 | |
圧力测定 | ピラニー真空计 |
气体导入机构 | 质量流量控制器 Ar：30sccm |
尺寸、重量(本体) | W787/D400/H859mm 約80kg
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所要电源 | 单相100V 50/60Hz 15A |
选择项：
基板加热单元（300℃/ 600℃/ 1000℃的类型）
基板冷却单元
基板旋转倾斜单元
电离真空计
水晶振动子式膜厚监视器
追加气体导入机构
RF溅射装置SVC-700RFII薄膜制作设备
特点：
薄膜、氧化物膜制作
充实的装备和选择性
卓越的RF磁控溅射
根据基板和溅射目标的尺寸，准备了两种类型
SVC-700RFⅡ Type-Ⅰ | SVC-700RFⅡ Type-Ⅱ | |
溅射阴极 | 水冷式磁控管 | 水冷式磁控管 φ2インチ×3源 |
溅射方向 | 向上 | |
RF电源 | 300W 13.56MHz 手动BOX付 | |
チャンバー部 | φ230mm×H200mm SUS製 | φ320mm×H325mm SUS製 |
真空泵 | TMP：260l/sec(@N2) RP：100l/min | |
到达压力 | 10-5 Pa 台 | |
圧力测定 | ピラニー真空計/电离真空计 | |
气体导入机构 | 质量流量控制器Ar：30sccm | |
尺寸・重量 | 本体：W744/D595/H1046mm 約140kg(RP別置)
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所要电源 | 単相100V 50/60Hz 3kVA | |
